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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本披露内容描述了用于对衬底进行磁退火的设备，该设备包括：退火室，该退火室被配置为加热和冷却在该退火室内沿着第一方向被固持在浸泡位置处的衬底，该退火室包括：加热器、冷却器、以及包括衬底固持器的衬底提升器，其中，该衬底固持器被配置成支撑衬底，该衬底被定向成使得该第一方向垂直于该衬底的主表面；以及磁体组件，该磁体组件被配置为在该退火室中建立均质区，该浸泡位置在该均质区内，该均质区包括磁场区域。
主权项：1.一种用于对衬底进行磁退火的设备，该设备包括：退火室，该退火室被配置为加热和冷却在该退火室内沿着第一方向被固持在浸泡位置处的衬底，该退火室包括：加热器，冷却器，以及包括衬底固持器的衬底提升器，其中，该衬底固持器被配置成支撑衬底，该衬底被定向成使得该第一方向垂直于该衬底的主表面；以及磁体组件，该磁体组件被配置为在该退火室中建立均质区，该浸泡位置在该均质区内，该均质区包括磁场区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 磁退火设备和方法
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