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申请/专利权人：深圳市瀚强科技股份有限公司

摘要：本申请提供一种射频电源设备、射频电源系统，涉及射频技术领域，射频电源设备包括N个射频源和N个隔离单元；每个射频源包括输出端，N个射频源的输出端用于分别输出N个射频信号，且N个射频信号的频率互不相同；N个隔离单元的一端与N个射频源的输出端一一对应连接，N个隔离单元的另一端用于连接负载，每个隔离单元用于隔离其他射频源的输出端输出的射频信号，并使得对应的射频源的输出端输出的射频信号通过；其中，在N个射频源向负载输出时，N个射频信号中的至少一个射频信号传输至负载，其中，N≥2。本申请可对多个射频源之间进行隔离。

主权项：1.一种射频电源设备，其特征在于，包括：N个射频源，每个射频源均包括输出端，所述N个射频源的输出端用于分别输出N个射频信号，且所述N个射频信号的频率互不相同；N个隔离单元，所述N个隔离单元的一端与所述N个射频源的输出端一一对应连接，所述N个隔离单元的另一端用于连接负载，每个隔离单元用于隔离其他射频源的输出端输出的射频信号，并使得对应的射频源的输出端输出的射频信号通过；其中，在所述N个射频源向所述负载输出时，所述N个射频信号中的至少一个射频信号传输至所述负载，其中，N≥2；每个隔离单元均包括N-1个并联谐振模块，或者每个隔离单元均包括一个串联谐振模块，或者部分隔离单元中的每个隔离单元均包括N-1个并联谐振模块，部分隔离单元中的每个隔离单元均包括一个串联谐振模块；每个隔离单元还包括开关模块，每个开关模块连接于对应的射频源的输出端与对应的N-1个并联谐振模块或一个串联谐振模块之间，每个开关模块用于导通或者断开对应的射频源的输出端与N-1个并联谐振模块或一个串联谐振模块之间的连接路径；在所述N个射频源向所述负载输出，且所述N个射频信号中的至少一个射频信号传输至所述负载时，传输至所述负载的至少一个射频信号为第一组射频信号，切换至少一个开关模块的导通或断开状态，以使得传输至所述负载的至少一个射频信号为第二组射频信号，其中，在向所述负载传输所述第一组射频信号达到第一预设时长时，切换至少一个开关模块的导通或断开状态，以使得传输至所述负载的至少一个射频信号为所述第二组射频信号。

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