龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：武汉敏声新技术有限公司
摘要：一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域。该体声波谐振器包括衬底，衬底设有空腔，空腔具有相对的侧壁和底面；衬底上设有谐振结构，谐振结构与空腔相对设置；谐振结构包括层叠设置的下电极、压电层和上电极；下电极在底面上的投影面积小于底面面积；压电层靠近衬底的一侧设有环绕下电极外周，并与空腔相通的环形结构，通过环形结构阻挡谐振结构产生的横向声波泄露。该体声波谐振器能够减少声波泄漏，提高器件品质。
主权项：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底设有空腔，所述空腔具有相对的侧壁和底面；所述衬底上设有谐振结构，所述谐振结构与所述空腔相对设置；所述谐振结构包括层叠设置的下电极、压电层和上电极；所述下电极在所述底面上的投影面积小于所述底面面积，且所述下电极在所述底面上的投影位于所述底面之内；所述压电层靠近所述衬底的一侧设有环绕所述下电极外周，并与所述空腔相通的环形结构，所述环形结构至少部分嵌入于所述压电层中；所述环形结构与所述空腔相对设置，所述环形结构在所述衬底的投影区域包括投射于所述衬底的第一投影区域和投射于所述底面的第二投影区域；所述第一投影区域的面积大于或等于所述第二投影区域的面积；所述环形结构的截面形状具有倾角，所述截面形状的高度高于所述下电极的高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉敏声新技术有限公司 体声波谐振器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号