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申请/专利权人：江苏泓顺硅基半导体科技有限公司

摘要：本发明公开了一种半导体石英砂加工用烘干装置，属于石英砂加工技术领域，用于解决烘干装置在对石英砂烘干时，能耗过多、烘干不均匀以及烘干过程中无法清洁的问题；包括滤尘组件、热回收组件；在对石英砂烘干过程中，石英砂表面的灰尘将会随同热气流从出气管处排入到滤尘组件内进行过滤，经过滤尘后的热气流将会通过滤尘组件进入到热回收组件中，在热回收组件的作用下可对热气流中热量、对石英砂进行烘干时携带的湿气水分，以及细小灰尘进行吸收，然后转化为较为清洁的热气，被加热器进行吸收，重复使用，起到降低功耗的作用，然后通过第二进气管通入烘干炉的内部，此种方式可在对石英砂烘干时，对石英砂清洁，并且降低能耗的使用。

主权项：1.一种半导体石英砂加工用烘干装置，包括支撑底座（10），所述支撑底座（10）的上端设有烘干炉（11），所述烘干炉（11）的下端设有卸料口（12），所述烘干炉（11）的上端设有进料口（13），其特征在于：所述烘干炉（11）的上端设有烘干机构（20），所述烘干炉（11）的下端设有放料机构（30），所述烘干机构（20）包括电机架（21），所述电机架（21）的侧面设有伺服电机（22），所述烘干炉（11）的内部转动连接有驱动杆（23），且伺服电机（22）的输出端与驱动杆（23）传动连接，所述驱动杆（23）的圆周表面设有搅拌叶片（24），所述烘干炉（11）的上表面设有滤尘组件（25），所述滤尘组件（25）的右侧设有热回收组件（26），所述热回收组件（26）包括水箱（261），所述水箱（261）的上表面设有第一进气管（266），所述第一进气管（266）的侧面设有第一气阀（267），所述热回收组件（26）的右侧设有加热器（27），所述加热器（27）的输出口与烘干炉（11）之间设有第二进气管（29），所述滤尘组件（25）与烘干炉（11）之间设有出气管（28），所述出气管（28）的表面设有第二气阀（210），其中滤尘组件（25）、热回收组件（26）、加热器（27）三者之间通过气管进行连接；所述滤尘组件（25）包括滤尘箱（251），所述滤尘箱（251）的内部滑动连接有滤尘板（252），所述滤尘箱（251）的内部侧壁设有第一滑轨（253），且第一滑轨（253）位于滤尘板（252）的下端，所述第一滑轨（253）的内部滑动连接有清洁刷（254），所述清洁刷（254）的侧面设有连接杆（255），且连接杆（255）与滤尘箱（251）滑动连接，所述连接杆（255）远离清洁刷（254）的一端设有滑动架（256），所述滤尘箱（251）的侧面设有限位支撑架（257），且连接杆（255）与限位支撑架（257）滑动连接，所述滤尘箱（251）的内部滑动连接有集尘箱（258），且集尘箱（258）设置在清洁刷（254）的下端；所述驱动杆（23）远离伺服电机（22）的一端圆周表面设有第一齿轮（259），所述烘干炉（11）的侧面设有变速器（2510），所述变速器（2510）的输入端传动连接有第二齿轮（2511），且第二齿轮（2511）与第一齿轮（259）啮合连接，所述变速器（2510）的输出端传动连接有第一传动带（2512），所述第一传动带（2512）远离变速器（2510）的一端传动连接有第一转动杆（2514），所述烘干炉（11）的侧面设有支撑转动架（2513），且第一转动杆（2514）与支撑转动架（2513）转动连接，所述第一转动杆（2514）远离第一传动带（2512）的一端传动连接有转盘（2515），所述转盘（2515）的表面设有滑动柱（2516），且滑动柱（2516）位于滑动架（256）内进行滑动；所述放料机构（30）包括第三齿轮（31），且第三齿轮（31）设置在驱动杆（23）的圆周表面，所述烘干炉（11）的侧面设有伺服电缸（32），所述伺服电缸（32）的输出端转动连接第一转动轴（33），所述第一转动轴（33）的圆周表面设有第四齿轮（34），且第四齿轮（34）可与第三齿轮（31）啮合连接，所述烘干炉（11）的侧面转动连接有第二转动轴（35），所述第二转动轴（35）的圆周表面设有第五齿轮（36），且第五齿轮（36）可与第四齿轮（34）啮合连接，所述第二转动轴（35）的圆周表面传动连接有第二传动带（37），所述第二传动带（37）远离第二转动轴（35）的一端传动连接有第二转动杆（38），且第二转动杆（38）与支撑底座（10）转动连接，所述第二转动杆（38）远离第二传动带（37）的一端的圆周表面设有凸轮（39）。

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