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申请/专利权人：通快激光有限责任公司
摘要：一种借助于光学相干断层扫描设备4测量间距的方法，所述光学相干断层扫描设备的测量光束5，5'通过激光加工光学器件7、特别是通过扫描仪光学器件指向工件表面11，根据本发明，该方法包括以下方法步骤：a测量通过所述激光加工光学器件7指向所述参考表面10的加工激光束3的z焦点位置F与参考表面10之间的焦点间距A，并且借助于如同所述加工光束3那样指向所述参考表面10的相同的点P1的或者指向所述参考表面10的在所述加工光束3的入射点P1旁边的点P2的测量光束5来测量所述光学相干断层扫描设备4的参考臂镜16与所述参考表面10之间的参考间距L0；b借助于指向所述工件表面11的测量光束5'来测量所述参考臂镜16与工件表面11之间的工件间距L1，和c根据测量出的参考间距和工件间距L0，L1以及测量出的焦点间距A来求取工件表面11与z焦点位置F之间的间距X1。
主权项：1.一种借助于光学相干断层扫描设备4测量间距的方法，所述光学相干断层扫描设备的测量光束5，5'通过激光加工光学器件7、特别是通过扫描仪光学器件指向工件表面11，该方法包括以下方法步骤：-借助于从所述激光加工光学器件7分别在不同的入射角度α1，α2下指向所述工件表面11的两个测量光束5，5'来测量所述光学相干断层扫描设备4的参考臂镜16与所述工件表面11之间的工件间距L1，L2；和-根据两个所述入射角度α1，α2以及两个测量出的工件间距L1，L2之间的差ΔL来求取偏转光学器件7与工件表面11之间的间距X2，其中，考虑所述两个测量光束5，5'的两个测量点P1，P2之间在z方向上存在的、所述工件表面11的表面偏移Δz，其中，对于所述间距X2适用：
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通快激光有限责任公司 用于为了激光加工材料的焦点控制而借助于OCT测量间距的方法及所属的计算机程序产品
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