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申请/专利权人：无锡先研新材科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体腔体盖板升降机构，包括沿竖向设置的滑轨、可操纵地转动插设于所述滑轨上的丝杆、可滑动设置在所述滑轨上的滑块、可拆卸插设于所述滑块上的丝母、可拆卸设置于所述滑轨上的导向柱、可转动设置于所述滑块上的盖板，所述滑轨外侧设置有限位柱，所述丝母可转动套设于所述丝杆，所述导向柱插设于所述滑块内，所述盖板一端位于所述限位柱下方。本实用新型的升降机构避免人工抬起放下的意外受伤风险，能使盖板改变角度实现开合以进行作业，合理利用空间。
主权项：1.一种半导体腔体盖板升降机构，其特征在于，包括沿竖向设置的滑轨、可操纵地转动插设于所述滑轨上的丝杆、可滑动设置在所述滑轨上的滑块、可拆卸插设于所述滑块上的丝母、可拆卸设置于所述滑轨上的导向柱、可转动设置于所述滑块上的盖板，所述滑轨外侧设置有限位柱，所述丝母可转动套设于所述丝杆，所述导向柱插设于所述滑块内，所述盖板一端位于所述限位柱下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡先研新材科技有限公司 一种半导体腔体盖板升降机构
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