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四甲基硅烷充装系统 

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申请/专利权人:金宏气体股份有限公司

摘要:本实用新型揭示了一种四甲基硅烷充装系统,包括进液总管、出液总管、进气总管、出气总管、第一多通管路、第二多通管路、及充装罐,第一多通管路分别与进液总管、进气总管、及出气总管相连通,第二多通管路分别与出液总管、进气总管、及出气总管相连通,充装罐包括进口和出口,进口通过第一连接管与第一多通管路相连通,出口通过第二连接管与第二多通管路相连通。本实用新型提供一种四甲基硅烷充装系统,结构简单,充装操作便捷,安全性高,能够防止充装过度引起的安全隐患,避免充装过程中四甲基硅烷的污染。

主权项:1.一种四甲基硅烷充装系统,其特征在于,所述四甲基硅烷充装系统包括进液总管、出液总管、进气总管、出气总管、若干第一多通管路、若干第二多通管路、及若干充装罐,所述第一多通管路分别与所述进液总管、进气总管、及出气总管相连通,所述第二多通管路分别与所述出液总管、进气总管、及出气总管相连通,所述充装罐包括进口和出口,所述进口通过第一连接管与第一多通管路相连通,所述出口通过第二连接管与第二多通管路相连通。

全文数据:

权利要求:

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