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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本发明公开了一种薄膜铌酸锂快速绝热模式转换器及其实现方法，属于集成光电子技术领域。转换器为铌酸锂层，为波导a和波导b组成的双波导系统，包括依次连接的输入端波导、模式转换器波导和输出端波导；实现方法包括以下步骤：步骤1.确定波导b宽度w2、波导a宽度w1max和w1min、波导间距gap1、gap2和gap3以及波导长度L1和L3；步骤2.通过快速绝热理论，获得波导a中模式转换器波导的锥度函数yw1；步骤3.扫描模式转换器波导长度L2，获得模式转换效率曲线；步骤4.根据应用需求，选择合适的L2；本发明提供了一种高效紧凑的快速绝热模式转换器实现方法，具备大带宽、低插入损耗、结构紧凑以及制备容差大的优点。
主权项：1.一种薄膜铌酸锂快速绝热模式转换器，其特征在于，包括自下而上依次层叠设置的衬底层、埋氧层、X切铌酸锂层和二氧化硅上包层；X切铌酸锂层中含有通过刻蚀技术形成的薄膜铌酸锂波导；薄膜铌酸锂波导为波导a和波导b组成的双波导系统，包括依次连接的输入端波导、模式转换器波导和输出端波导。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种薄膜铌酸锂快速绝热模式转换器及其实现方法
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