龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种方法包括：由处理设备，接收表明与第一处理腔室对应的壁的状态的第一传感器数据。所述第一传感器数据包括光学光谱数据。所述方法进一步包括：由所述处理设备，基于所述第一传感器数据确定第一值。所述第一值与沿着所述壁的表面设置的产物在第一时间的第一量对应。所述方法进一步包括：由所述处理设备，基于所述第一值确定对与所述第一处理腔室相关联的第一工艺操作的第一更新。所述方法进一步包括：由所述处理设备，执行以下一项或多项i准备表明所述第一更新的通知以在图形用户接口GUI上呈现，或ii导致依据所述第一更新执行所述第一工艺操作。
主权项：1.一种方法，包括：由处理设备，接收表明与第一处理腔室对应的壁的状态的第一传感器数据，所述第一传感器数据包括光学光谱数据；由所述处理设备，基于所述第一传感器数据确定第一值，所述第一值与沿着所述壁的表面设置的产物在第一时间的第一量对应；由所述处理设备，基于所述第一值确定对与所述第一处理腔室相关联的第一工艺操作的第一更新；以及由所述处理设备，执行以下一项或多项i准备表明所述第一更新的通知以在图形用户接口GUI上呈现，或ii导致依据所述第一更新执行所述第一工艺操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 使用光学壁工艺传感器(OWPS)的工艺表征和改正
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号