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申请/专利权人：珠海埃克斯智能科技有限公司
摘要：本申请公开了一种组合设备的加工控制方法、装置、设备、存储介质及产品，涉及半导体制造技术领域，在本申请中对于多个加工模块中任意一组可并行的目标加工模块，构建各目标加工模块的初始累积工艺次数，得到各候选初始累积工艺次数集；从各候选初始累积工艺次数集中选取，晶圆平均加工周期最短的候选初始累积工艺次数集作为目标初始累积工艺次数集；将目标初始累积工艺次数集中各目标加工模块的初始累积工艺次数，转换为各目标加工模块的理论延迟启动时长，在基于各目标加工模块的理论延迟启动时长，启动各目标加工模块对待加工晶圆组中的晶圆进行加工，以错开各目标加工模块进入清洗步骤的时间，从而避免加工模块集中清洗的问题。
主权项：1.一种组合设备的加工控制方法，其特征在于，所述组合设备中设置有多个加工模块，其中，加工模块进行晶圆工艺加工的累积工艺次数超过预设次数后将进入清洗步骤，所述组合设备的加工控制方法包括：对于所述多个加工模块中任意一组可并行的目标加工模块，构建各目标加工模块的初始累积工艺次数，得到各候选初始累积工艺次数集，其中，候选初始累积工艺次数集中包括各目标加工模块的初始累积工艺次数，且在一个候选初始累积工艺次数集中各目标加工模块的初始累积工艺次数不同；从所述各候选初始累积工艺次数集中选取，晶圆平均加工周期最短的候选初始累积工艺次数集作为目标初始累积工艺次数集；将所述目标初始累积工艺次数集中各目标加工模块的初始累积工艺次数，转换为各目标加工模块的理论延迟启动时长；在存在待加工晶圆组首次被各目标加工模块加工的情况下，基于各目标加工模块的理论延迟启动时长，启动各目标加工模块开始对所述待加工晶圆组中的晶圆进行加工，以错开各目标加工模块进入清洗步骤的时间，其中，所述待加工晶圆组中各晶圆的加工参数相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海埃克斯智能科技有限公司 组合设备的加工控制方法、装置、设备、存储介质及产品
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