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申请/专利权人：山东省科学院自动化研究所
摘要：本发明属于介电系数测试技术领域，提供了一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法及系统，包括采集自由空间、衬底以及外延片的时域信号，并对自由空间的时域信号进行多次采集，计算时域各点方差的均值，得到参考稳定性指标；求解薄膜的折射率和消光系数，得到备选解；将备选解采用的频域信号进行傅里叶逆变换，得到外延片的仿真时域信号，计算仿真的外延片的时域信号与采集的外延片的时域信号的损失值，得到样本稳定性指标；根据样本稳定性指标与参考稳定性指标的比值进一步筛选，最终确定薄膜在太赫兹频段的光学参数。本公开避免了法布里珀罗效应的影响，能够克服太赫兹波在两层材料中多次反射造成测量准确度低的问题。
主权项：1.一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，包括以下步骤：采集自由空间、衬底以及外延片的时域信号，并对自由空间的时域信号进行多次采集，计算时域各点方差的均值，得到参考稳定性指标；采用数值方法求解薄膜的折射率和消光系数，使其在太赫兹波单次穿过薄膜介质的条件下自洽，得到备选解，并根据光学曲线平滑的特性，减小备选解的数目；将备选解采用的频域信号进行傅里叶逆变换，得到外延片的仿真时域信号，计算仿真的外延片的时域信号与采集的外延片的时域信号的损失值，得到样本稳定性指标；根据样本稳定性指标与参考稳定性指标的比值进一步筛选，最终确定薄膜在太赫兹频段的光学参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东省科学院自动化研究所 一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法及系统
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