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申请/专利权人：武汉高芯科技有限公司
摘要：本发明涉及一种减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟，包括衬底板、母液板和母液盖板，母液板上设有用于容置生长母液的生长母液槽以及用于容置牺牲母液的牺牲母液槽；衬底板上设有衬底槽；母液板与衬底板之间可相对活动，以致衬底槽能够与牺牲母液槽与相对或分离，以及衬底槽能够与生长母液槽与相对或分离。相应地还提供一种水平液相外延生长方法。本发明中，在母液板上设置牺牲母液槽，在外延生长前可以通过牺牲母液对衬底表面进行回融清洗，清洗掉衬底表面掉落的碳颗粒等污物，同时衬底回融对衬底材料沉淀相夹杂物及高温汞蒸气作用产生的衬底缺陷有一定的减轻作用，因此本发明能减少衬底表面沾污及缺陷对外延生长的影响，有效地提高外延产品的质量。
主权项：1.一种减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟，包括衬底板、母液板和母液盖板，所述母液板设置在所述衬底板上，所述母液盖板盖合在所述母液板上，其特征在于：所述母液板上设有用于容置生长母液的生长母液槽以及用于容置牺牲母液的牺牲母液槽；所述衬底板上设有衬底槽；所述母液板与所述衬底板之间可相对活动，以致所述衬底槽能够与所述牺牲母液槽与相对或分离，以及所述衬底槽能够与所述生长母液槽与相对或分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉高芯科技有限公司 减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法
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