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共烧陶瓷外壳的制备方法 

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申请/专利权人:中国电子科技集团公司第十三研究所

摘要:本发明提供了一种共烧陶瓷外壳的制备方法,包括以下步骤:制作HTCC生瓷件与LTCC生瓷件,LTCC生瓷件的尺寸包括用于补偿烧结收缩量的补偿量;以第一温度烧结HTCC生瓷件并冷却至室温,获得HTCC熟瓷件;在HTCC熟瓷件的上表面局部印刷浆料,并将LTCC生瓷件装配在HTCC熟瓷件的浆料印刷区域,获得装配体;以低于第一温度的第二温度烧结装配体,获得HTCC和LTCC的共烧熟瓷件;对共烧熟瓷件镀装配层获得共烧陶瓷外壳并进行气密封装。本发明提供的共烧陶瓷外壳的制备方法,能够简化制备工艺,避免HTCC与LTCC结合后出现开缝,在满足高频传输的情况下结构强度高、散热性好的同时为后续成品的气密性封装工艺提供更多选择。

主权项:1.共烧陶瓷外壳的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:制作HTCC生瓷件与LTCC生瓷件,所述LTCC生瓷件的尺寸包括用于补偿烧结收缩量的补偿量;以第一温度烧结所述HTCC生瓷件并冷却至室温,获得HTCC熟瓷件;在所述HTCC熟瓷件的上表面局部印刷浆料,并将所述LTCC生瓷件装配在所述HTCC熟瓷件的浆料印刷区域,获得装配体;以低于所述第一温度的第二温度烧结所述装配体,获得HTCC和LTCC的共烧熟瓷件;对所述共烧熟瓷件镀装配层并钎焊封口环,获得共烧陶瓷外壳,随后进行气密封装;其中,所述第一温度为1500℃~1700℃,所述第二温度为850~950℃。

全文数据:

权利要求:

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