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申请/专利权人：苏州悉识科技有限公司
摘要：本发明公开了一种自动校正入射光强的反射式膜厚测量装置及方法，包括，反射式探头，包括Y型光纤尾部的反射式光纤探头和聚焦透镜，所述聚焦透镜用于将光线探头出射的光纤聚焦；Y型光纤，其可测量范围包含紫外到远红外波段，或其中某一个子波段；光源模块，包括光源、可移动光阀和光谱仪探测器，所述可移动光阀设置于不同的光路中，用于控制光路的通断，组成不同的测量光路；计算分析模块，用于接收光谱仪探测器产生的信号，计算得到光强校正因子，通过光强校正因子校正入射光强。该膜厚测量装置能够对光源入射光强的不稳定性进行自动校正，提高了测量速度，减少使用者的学习成本，并减小传统校正过程带来的主观误差。
主权项：1.一种自动校正入射光强的反射式膜厚测量装置，其特征在于，包括，反射式探头，包括Y型光纤尾部的反射式光纤探头和聚焦透镜，所述聚焦透镜用于将光线探头出射的光纤聚焦；Y型光纤，其可测量范围包含紫外到远红外波段，或其中某一个子波段；光源模块，包括光源、可移动光阀和光谱仪探测器，所述可移动光阀设置于不同的光路中，用于控制光路的通断，组成不同的测量光路；计算分析模块，用于接收光谱仪探测器产生的信号，计算得到光强校正因子，通过光强校正因子校正入射光强。
全文数据：
权利要求：
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