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申请/专利权人：株洲三一硅能技术有限公司
摘要：本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，提供一种防晶棒坠落装置、副炉室及单晶炉，其中，防晶棒坠落装置包括晶棒状态检测元件、气囊、气体发生器和控制系统，晶棒状态检测元件用于检测晶棒是否发生掉落；气囊设于副炉室内，气囊在充入气体时膨胀；气体发生器用于产生气体，气体发生器的气体出口与气囊的气体进口连接；晶棒状态检测元件和气体发生器均与控制系统电连接，控制系统在晶棒状态检测元件检测到晶棒掉落时，控制气体发生器产生气体。如此设置，在检测到晶棒发生掉落时，气体能够快速填充气囊使气囊膨胀，膨胀的气囊挤压晶棒，依靠气囊与晶棒之间的摩擦力，限制晶棒掉落，有效地避免了晶棒掉落可能导致的损失。
主权项：1.一种防晶棒坠落装置，其特征在于，包括：晶棒状态检测元件，适于检测晶棒是否发生掉落；气囊，设置于副炉室内，所述气囊适于在充入气体时膨胀；气体发生器，适于产生气体，所述气体发生器的气体出口与所述气囊的气体进口相连接；控制系统，所述晶棒状态检测元件和所述气体发生器均与所述控制系统电连接，所述控制系统适于在所述晶棒状态检测元件检测到所述晶棒掉落时，控制所述气体发生器产生气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株洲三一硅能技术有限公司 防晶棒坠落装置、副炉室及单晶炉
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