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申请/专利权人：无锡松瓷机电有限公司
摘要：本申请公开了一种晶棒直径检测装置及晶棒划线机，该晶棒直径检测装置移载机构和夹持机构，移载机构被配置为至少驱动夹持机构沿第一方向往复移动；夹持机构包括基座、第一驱动组件、两个移动件、两个夹持件和检测组件，两个移动件可沿第二方向靠近或远离地安装在基座上，第一驱动组件被配置为驱动两个移动件相互靠近或远离，两个夹持件分别通过弹性组件可沿第二方向活动地安装在两个移动件的相对侧，两个夹持件被配置为夹持晶棒，每个夹持件和相连的移动件之间分别设有检测组件，检测组件被配置为检测夹持件和相连移动件之间的距离。上述晶棒直径检测装置具有检测效率高、节省人力和检测精度高的优点。
主权项：1.一种晶棒直径检测装置，其特征在于，所述晶棒直径检测装置包括移载机构和夹持机构，其中：所述移载机构的驱动端连接所述夹持机构，所述移载机构被配置为至少驱动所述夹持机构沿第一方向往复移动，所述第一方向为晶棒的长度方向；所述夹持机构包括基座、第一驱动组件、两个移动件、两个夹持件和检测组件，两个所述移动件可沿第二方向靠近或远离地安装在所述基座上，所述第一驱动组件被配置为驱动两个所述移动件相互靠近或远离，两个所述夹持件分别通过弹性组件可沿所述第二方向活动地安装在两个所述移动件的相对侧，两个夹持件沿径向布置在晶棒的两侧，两个夹持件被配置为夹持晶棒，每个夹持件和相连的移动件之间分别设有检测组件，所述检测组件被配置为检测夹持件和相连移动件之间的距离；所述移载机构驱动所述夹持机构沿晶棒的长度方向移动时，两个所述夹持件贴靠在所述晶棒的两侧，通过所述检测组件检测夹持件和相连移动件之间的距离，以检测晶棒的直径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡松瓷机电有限公司 一种晶棒直径检测装置及晶棒划线机
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