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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供一种金属靶材成分管理的防混料方法，所述防混料方法包括以下步骤：1对金属靶材进行成分检测，并与检移票所记载的成分进行比较；2若比较结果一致，则将成分信息刻于所述金属靶材的表面，且后续加工以金属靶材表面的成分信息为准；若比较结果不同，则隔离所述金属靶材，并进行问题筛查。本发明提供的防混料方法直接将金属靶材的成分信息刻于靶材表面，避免了产品流动过程中发生检移票混淆或标签贴错及脱落的现象，保证了出货靶材成分的准确性，彻底消除了混料隐患，有利于大规模推广应用。
主权项：1.一种金属靶材成分管理的防混料方法，其特征在于，所述防混料方法包括以下步骤：1对金属靶材进行成分检测，并与检移票所记载的成分进行比较；2若比较结果一致，则将成分信息刻于所述金属靶材的表面，且后续加工以金属靶材表面的成分信息为准；若比较结果不同，则隔离所述金属靶材，并进行问题筛查。
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权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种金属靶材成分管理的防混料方法
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