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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明提供一种可静电频率修调的恒温控制微机械压电式环形陀螺仪。包括圆环谐振子；支撑组件，包括谐振子支撑梁、加热框、加热框支撑梁、锚点和衬底，圆环谐振子通过谐振子支撑梁与加热框内侧连接，加热框外侧通过加热框支撑梁与锚点连接，锚点固定于衬底上；衬底设有空腔，圆环谐振子、谐振子支撑梁和加热框通过加热框支撑梁悬挂于空腔之上；温控单元，包括测温件和控温件，测温件用于获取圆环谐振子的温度，控温件用于调控圆环谐振子的温度；模态测控单元，用于调控圆环谐振子的工作模态并检测陀螺仪旋转引起的科氏力信号；修频单元，用于施加电压以利用静电负刚度原理来调控圆环谐振子的谐振频率，修频单元与衬底电学绝缘。
主权项：1.一种可静电频率修调的恒温控制微机械压电式环形陀螺仪，其特征在于，包括：圆环谐振子；支撑组件，包括谐振子支撑梁、加热框、加热框支撑梁、锚点和衬底，所述圆环谐振子通过所述谐振子支撑梁与所述加热框内侧连接，所述加热框外侧通过所述加热框支撑梁与所述锚点连接，所述锚点固定于所述衬底上；所述衬底设有空腔，所述圆环谐振子、所述谐振子支撑梁和所述加热框通过所述加热框支撑梁悬挂于空腔之上；温控单元，包括测温件和控温件，所述测温件用于获取圆环谐振子的温度，所述控温件用于根据测温件测量到的圆环谐振子的温度来调控所述圆环谐振子的温度；模态测控单元，用于调控所述圆环谐振子的工作模态并检测陀螺仪旋转引起的科氏力信号；修频单元，多个所述修频单元间隔设置在所述圆环谐振子的内侧，用于施加电压以利用静电负刚度原理来调控所述圆环谐振子的谐振频率，所述修频单元与所述衬底电学绝缘。
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权利要求：
百度查询： 武汉大学 可静电频率修调的恒温控制微机械压电式环形陀螺仪
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