龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆用增粘剂、其应用及应用其的方法，其中，增粘剂是一种磷酸酯分子，为安全无毒的物质，环保且廉价易得，既可以通过化学合成方法得到，还可以从大豆等植物中获得；同时，磷酸酯分子的pH为弱酸性，对晶圆的表面无损伤；本发明的增粘剂与晶圆表面结合紧密，其疏水端与光刻胶结合后，能使光刻胶更好的黏附与晶圆表面，且不易脱落，有利于减少晶圆的缺陷数量。
主权项：1.一种晶圆用增粘剂，其特征在于，所述增粘剂包括如式I的组分： 其中，R选自C1-10的烃基、环己基、脂烃基或芳烃基中的一种；X选自乙醇胺基、羟基、羟甲基或杂环基团中的一种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 一种晶圆用增粘剂、其应用及应用其的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号