龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京惠然肯来科技中心(有限合伙);惠然科技有限公司
摘要：本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。
主权项：1.一种用于检测带电粒子束装置性能的载物单元，其特征在于，包括：载物平板（12），其通过固定支架（11）安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且所述载物平板（12）上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；所述固定支架（11），其沿以所述纵向开口的中心点为圆心的圆周均匀布置，其中，以所述纵向开口的中心点为圆心的圆周的半径小于或等于所述载物平板（12）的半径，所述固定支架（11）包括：竖直支架（111）、折角支架（112）和伸缩件（113），其中，所述竖直支架（111）上设有第一装配端和第二装配端，所述第一装配端用于与所述带电粒子束装置进行固定，所述折角支架（112）上设有第三装配端和第四装配端，所述第三装配端用于与所述载物平板（12）进行固定，所述第四装配端与所述竖直支架（111）的第二装配端通过所述伸缩件（113）进行固定，所述折角支架（112）的弯折角度与所述带电粒子束装置中物镜外极靴的锥角的差值小于预设角度差值，以使所述带电粒子束装置和载物单元形成一个整体；以及钉台（13），其嵌入在所述载物平板（12）的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) 惠然科技有限公司 用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号