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申请/专利权人：品泰新材(北京)科技有限公司

摘要：本发明公开了一种氢化物气相外延炉尾气排放物的收集装置，包括锥形桶，所述锥形桶的上端设置有用于导入尾气的进气连接组件，所述锥形桶一侧的下端设置有排气管，所述锥形桶内部设置有用于尾气处理的分离机构。本发明相比于传统的多级滤网的方式，尾气排放物的收集效率、收集物可利用比例得到大幅度提高，外延炉的维护周期得到显著的延长，工艺稳定性得到进一步提高，且含镓排放物的收集更容易、收集效率更高，可以在不停机的情况下直接取出排放物，使镓的回收利用更可行、更简单，且不用水洗减少对水的消耗和对环境的污染，也避免了传统方式对过滤滤芯的频繁更换，降低了设备运行成本和物料消耗。

主权项：1.一种氢化物气相外延炉尾气排放物的收集装置，包括锥形桶（1），其特征在于：所述锥形桶（1）的上端设置有用于导入尾气的进气连接组件，所述锥形桶（1）一侧的下端设置有排气管（101），所述锥形桶（1）内部设置有用于尾气处理的分离机构（2），所述分离机构（2）包括：收集套桶（21），所述收集套桶（21）设置在锥形桶（1）上端的内侧壁上；冷却组件，所述冷却组件设置于锥形桶（1）的内侧壁上围绕在收集套桶（21）的外侧；伺服电机（22），所述伺服电机（22）设置在锥形桶（1）的下端，所述伺服电机（22）的输出端设置有传动轴（23），所述传动轴（23）的上端设置有用于将尾气及反应生成物高速甩向外围的离心涡轮旋片（24）；固料回收组件，所述固料回收组件设置在收集套桶（21）的下端，所述固料回收组件的另一端与排气管（101）连接；所述固料回收组件包括：收集槽（3），所述收集槽（3）设置在收集套桶（21）底部的两侧；收集方管（4），所述收集方管（4）的下端设置在锥形桶（1）一侧的下端，所述收集方管（4）的上端设置在收集套桶（21）上与收集槽（3）连通；安装架（5），所述安装架（5）设置在收集方管（4）内部的上端，所述安装架（5）的上端设置有第一弹簧（6），所述第一弹簧（6）的上端设置有堵块（7），所述收集方管（4）的上端管口出设置有与堵块（7）相匹配的堵环（8）；卸料板（9），所述卸料板（9）的一端转动设置在收集方管（4）内部位于安装架（5）的下端，所述卸料板（9）靠近安装端的上端面上设置有第二弹簧（10），所述第二弹簧（10）设置在收集方管（4）的内侧壁上，所述收集方管（4）在锥形桶（1）的外侧连接有收集组件；所述收集组件包括导料管（11）、连接套（12）和收集筒（13），所述导料管（11）的两端分别与收集方管（4）和连接套（12）连接，所述连接套（12）与收集筒（13）之间螺纹连接；所述进气连接组件包括有连接法兰（102）和进气管（103），所述进气管（103）设置在连接法兰（102）上与锥形桶（1）内部连通，所述连接法兰（102）采用真空标准件或者液压翻盖密封方式与锥形桶固定，所述连接法兰（102）与HVPE炉反应腔之间的管路加装隔热套；所述冷却组件为水冷盘管或水套，所述水冷盘管螺旋设置在锥形桶（1）的内侧壁上，且与收集套桶（21）接触的一面为平面。

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