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申请/专利权人：深圳飞骧科技股份有限公司
摘要：本发明适用于无线通讯技术领域，尤其涉及一种叉指换能器及其制备方法、声表面滤波器。包括以下步骤：对晶圆进行两次均胶和两次坚膜处理、进行曝光处理、旋涂显影液、镀膜处理、对光刻胶进行剥离，得到叉指换能器。与现有技术相比，本发明通过对晶圆涂抹两层光刻胶，由于两层光刻胶的物理性质存在差异，从而在后续的旋涂显影液过程中，顶层光刻胶要比底层的光刻胶剩余结构会更多，形成类似T型结构的光刻胶，使得在对晶圆进行镀膜时，金属膜会与底层的光刻胶之间形成空隙，有效避免了光刻胶附着于金属膜的周边，造成不完全剥离的现象，有效提高了叉指换能器及其声表面滤波器的电性能和可靠性。
主权项：1.一种叉指换能器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：S1、对晶圆的表面进行清洗，得到第一晶圆；S2、对所述第一晶圆的表面旋涂上一层第一光刻胶，得到涂有第一层光刻胶的第二晶圆；S3、对所述第二晶圆进行第一次坚膜处理，得到第三晶圆；其中，所述二晶圆进行第一次坚膜处理时的烘烤时间为20-45秒，烘烤温度为70-100℃；S4、在所述第三晶圆的第一层光刻胶的表面旋涂上第二层光刻胶并进行第二次坚膜处理，得到涂有两层光刻胶的第四晶圆；S5、对所述第四晶圆进行曝光处理，得到第五晶圆；S6、在所述第五晶圆的表面旋涂显影液，以去除所述第五晶圆上的未曝光区域，得到第六晶圆；其中，所述第六晶圆的第二层光刻胶的剩余结构多于所述第六晶圆的第一层光刻胶的剩余结构；S7、对所述第六晶圆进行镀膜处理，得到第七晶圆；S8、通过预设化学溶剂对所述第七晶圆上的光刻胶进行剥离，得到叉指换能器。
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权利要求：
百度查询： 深圳飞骧科技股份有限公司 叉指换能器及其制备方法、声表面滤波器
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