龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社新川
摘要：接合装置以及接合头的移动量补正方法。接合装置进行：标记补正，在每个既定的时机利用位置检测照相机拍摄基准标记，基于所拍摄的基准标记的位置与位置检测照相机的基准位置的位置偏移量来补正接合头的移动量；以及实际位置补正，在每个自前一次实际位置补正开始的由标记补正所得的补正量的累计值超过既定的第一阈值的时机，利用位置检测照相机检测接合后的半导体元件的实际接合位置，基于所检测出的半导体元件的实际接合位置与目标接合位置的位置偏移量来补正接合头的移动量。
主权项：1.一种接合装置，其特征在于，包括：接合头，搭载有将吸附于前端的半导体元件接合于基板或其他半导体元件之上的接合嘴、及位置检测照相机，并在至少一个方向移动；接合台，其上安装有所述基板或所述其他半导体元件；基准标记，载置于相对于所述接合台为固定设置的标记台的上表面；以及控制部，调整所述接合头的位置，所述控制部进行：标记补正，每当既定的时机利用所述位置检测照相机拍摄所述基准标记，基于所拍摄的所述基准标记的位置与所述位置检测照相机的基准位置的位置偏移量来补正所述接合头的移动量；以及实际位置补正，每当另一既定的时机利用所述位置检测照相机检测接合后的半导体元件的实际接合位置，基于所检测的半导体元件的实际接合位置与目标接合位置的位置偏移量来补正所述接合头的移动量，其中另一既定的时机为自前一次的所述实际位置补正开始的由所述标记补正所得的补正量的累计值超过既定的第一阈值的时机。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社新川 接合装置以及接合头的移动量补正方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号