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一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机 

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申请/专利权人:福州天瑞线锯科技有限公司

摘要:本发明公开了一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机,所述开方机包括开方机本体及所述单晶硅棒切割面角度检测装置;所述单晶硅棒切割面角度检测装置包括测距传感器、安装座及平移驱动机构;安装座安装于夹持机构的夹持座处,且位于夹持机构所夹持的单晶硅棒下方;平移驱动机构用于驱动测距传感器移动;测距传感器与平移驱动机构连接,且竖直向上朝向单晶硅棒。在完成单晶硅棒的中轴线与夹持机构的对准后,测距传感器则采集第一个间距数据,平移驱动机构驱动测距传感器移动一定距离后,采集第二个间距数据,若比对第一个间距数据和第二个间距数据不一致,则表明需要调整单晶硅棒的角度。本发明具有可以检测出单晶硅棒的切割面是否水平的优点。

主权项:1.一种单晶硅棒切割面角度检测装置,其特征在于,包括测距传感器、安装座及平移驱动机构;所述安装座安装于一夹持机构的夹持座处,且位于两个夹持机构所夹持的单晶硅棒下方;所述平移驱动机构设置于安装座处,用于驱动测距传感器在水平面内,以垂直单晶硅棒的长度方向移动;所述测距传感器与平移驱动机构连接,且竖直向上朝向单晶硅棒;所述平移驱动机构为气缸或油缸;还包括固定座,所述固定座与平移驱动机构的输出轴连接,所述测距传感器安装于固定座处;还包括固定板、限位开关及控制器,所述固定板竖向设置,固定板的一端与安装座连接,且固定板的长度方向与平移驱动机构驱动测距传感器移动的方向一致;固定板的另一端穿过固定座,且固定座可相对固定板滑动;两个限位开关分别设置于固定座的两侧处;所述控制器分别与两个限位开关、平移驱动机构连接,用于在固定座触发限位开关时控制平移驱动机构;所述平移驱动机构的输出轴与固定座的中部连接,所述测距传感器设置于固定座的一端处,固定座的另一端设置有配重块。

全文数据:

权利要求:

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