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一种铜面微蚀粗化液及其应用 

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申请/专利权人:上海天承化学有限公司

摘要:本发明提供了一种铜面微蚀粗化液及其应用,所述铜面微蚀粗化液的溶剂包括水,溶质包括铜离子、氯离子、有机酸、有机酸盐与0.00001~0.007molL的缓蚀剂。本发明提供的铜面微蚀粗化液一方面能够有效提高铜面的粗糙度,从而提高感光抗蚀层与油墨等介电材料以及锡、镍、钯与金等金属在铜面上的附着力;另一方面对具有不同铜结晶的铜面均具有较佳的微蚀与粗化效果,适用范围较广。

主权项:1.一种铜面微蚀粗化液,其特征在于,所述铜面微蚀粗化液的溶剂包括水,溶质包括铜离子、氯离子、有机酸、有机酸盐与0.00001~0.007molL的缓蚀剂;所述缓蚀剂包括二烯丙基二甲基氯化铵、N,N,N-3-2-甲基烯丙基酰胺基-1-氯化丙铵、甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵、聚二烯二甲基氯化铵、聚季铵盐-7、聚季铵盐-11或1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐中的至少两种的组合;所述铜面微蚀粗化液的溶质还包括附加缓蚀剂;所述附加缓蚀剂为氯化三甲基铵乙酰肼、1-2-肼基-2-氧代乙基吡啶-1-氯化铵、N,N,N-三乙基-2-肼基-2-氧代乙基氯化铵、N-3-三甲基铵丙基甲基丙烯酰亚胺盐酸盐、3-氨基-N,N,N-三甲基丙烷-1-氯化铵盐酸盐中的任意一种;所述附加缓蚀剂的摩尔浓度为0.00001~0.0002molL。

全文数据:

权利要求:

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