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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及光栅领域，具体涉及一种光栅刻线的误差检测装置及方法。误差检测装置包括激光光源、分束镜、放置平台、挡块以及探测组件，激光光源用于产生激光光束；分束镜沿第一方向设置在激光光源的输出端，且与激光光源间隔设置；检测时，激光光束透过分束镜射入被测光栅，被测光栅接收激光光束并生成0级衍射光束以射入分束镜，经由分束镜折转后射入第一探测器；被测光栅接收激光光束还用于在生成沿第三方向传播的误差衍射光束以射入第二探测器，整个过程不需要对被测光栅进行姿态调整，也就不会因为姿态变化产生额外误差，使得被测光栅的误差测量结果更为准确。
主权项：1.一种光栅刻线的误差检测装置，其特征在于，包括：激光光源，所述激光光源用于产生激光光束；分束镜，沿第一方向设置在所述激光光源的输出端，且与所述激光光源间隔设置；放置平台，沿第一方向设置在所述分束镜远离所述激光光源所在一侧，所述放置平台的第一预设位置处放置有被测光栅；挡块，设置在所述放置平台的第二预设位置，所述第一预设位置与所述第二预设位置相邻；探测组件，包括第一探测器以及第二探测器，所述第一探测器沿第二方向与所述分束镜间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第二探测器沿第三方向与所述被测光栅间隔设置，所述第三方向与所述第一方向呈夹角设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种光栅刻线的误差检测装置及方法
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