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申请/专利权人：洛阳中硅高科技有限公司
摘要：本实用新型公开一种硅基电子特气用钢制无缝气瓶钝化系统，包括钝化管道，所述钝化管道设置有气瓶接口、合格产品接口、真空接口、保护气接口和废液排口，气瓶，所述气瓶瓶阀向下倒置竖立设置，且所述气瓶瓶阀与所述气瓶接口连通，用于向气瓶中通入合格产品、压出清洗废液以及保护气置换；温控装置，所述温控装置设置在气瓶外部，用于实现液态氯硅烷物料在气瓶中的气化和气化物料在气瓶中冷凝循环的往复进行；本实用新型对气瓶内壁的钝化和自冲洗，效率高、效果好。钝化后的气瓶在充装硅基电子特气产品后，其杂质含量低，质量长期稳定。
主权项：1.一种硅基电子特气用钢制无缝气瓶钝化系统，其特征在于：包括钝化管道，所述钝化管道设置有气瓶接口、合格产品接口、真空接口、保护气接口和废液排口；气瓶，所述气瓶向下倒置竖立设置，且所述气瓶瓶阀与所述气瓶接口连通，用于向气瓶中通入合格产品、压出清洗废液以及进行保护气置换；温控装置，所述温控装置设置在气瓶外部，用于实现液态氯硅烷物料在气瓶中的气化和气化物料在气瓶中冷凝循环的往复进行；合格产品储罐，所述合格产品储罐与合格产品接口相连，用于向气瓶内充装清洗钝化用的液态氯硅烷；真空泵，所述真空泵与真空接口相连，所述真空泵用于对钝化管道和气瓶进行抽真空；保护气源，所述保护气源与保护气接口相连，用于对钝化管道和气瓶进行保护气的供应并进行置换；废液罐，所述废液罐与所述废液排口相连，用于存储气瓶排出的清洗后的废液。
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权利要求：
百度查询： 洛阳中硅高科技有限公司 一种硅基电子特气用钢制无缝气瓶钝化系统
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