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申请/专利权人：无锡沃格自动化科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种用于晶圆贴膜的清洁机构，其包括安装架、横移模组、清洁架和清洁辊，安装架固定设置于切膜平台和缓存平台的一侧，横移模组的驱动端连接清洁架，清洁辊可滚动地安装在清洁架上，清洁辊用于对切膜平台和缓存平台上的碎屑清洁，横移模组驱动清洁架往复移动，以带动清洁辊依次经过切膜平台和缓存平台，从而清洁切膜平台和缓存平台上的碎料，上述用于晶圆贴膜的清洁机构采用横移模组驱动清洁架往复移动的方式，带动清洁辊依次经过切膜平台和缓存平台，清洁切膜平台和缓存平台上的碎料，不仅结构简单、设计巧妙，而且能实现自动清洁，显著提高了清洁效率，进一步提高了贴膜效率和贴膜良率，无需人工操作，减少了人工成本。
主权项：1.一种用于晶圆贴膜的清洁机构，其特征在于，所述用于晶圆贴膜的清洁机构包括安装架、横移模组、清洁架和清洁辊，其中，所述安装架固定设置于切膜平台和缓存平台的一侧，所述横移模组安装在所述安装架上，所述横移模组的驱动端连接所述清洁架，所述清洁辊沿第一方向可滚动地安装在所述清洁架上，所述清洁辊用于对所述切膜平台和缓存平台上的碎屑清洁，所述横移模组驱动所述清洁架沿第二方向往复移动，以带动所述清洁辊依次经过所述切膜平台和缓存平台，从而清洁所述切膜平台和缓存平台上的碎料，所述第二方向与所述第一方向垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡沃格自动化科技股份有限公司 一种用于晶圆贴膜的清洁机构
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