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申请/专利权人:北京烨晶科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种凝华结晶分离设备,包括结晶结构和分离结构,结晶结构具有结晶腔以及与结晶腔连通设置的第一连通部和第二连通部,第一连通部适于与热工艺气体连通,第二连通部适于与冷工艺气体连通,以分别使热工艺气体和冷工艺气体流入结晶腔内混合为凝华气体、且凝华结晶出第一结晶件;分离结构包括间隔设置的容纳件和分离组件,容纳件具有容纳腔以及与容纳腔连通设置的第一排出部,分离组件具有若干分离腔以及若干与分离腔一一对应连通设置的分离部。上述结构的凝华结晶分离设备,通过多个分离腔分别接收凝华气体,从而延长了凝华气体的凝华时间,且分担了整个设备中气体的流量,进而使得设备受到的阻力降低,并提高了设备的分离效率。
主权项:1.一种凝华结晶分离设备,其特征在于,包括:结晶结构1,具有结晶腔以及与所述结晶腔连通设置的第一连通部111和第二连通部121,所述第一连通部111适于与热工艺气体连通,所述第二连通部121适于与冷工艺气体连通,以分别使所述热工艺气体和所述冷工艺气体流入所述结晶腔内混合为凝华气体、且凝华结晶出第一结晶件;分离结构2,包括间隔设置的容纳件21和分离组件,所述容纳件21具有容纳腔以及与所述容纳腔连通设置的第一排出部211,所述分离组件具有若干分离腔以及若干与所述分离腔一一对应连通设置的分离部221;其中,所述容纳腔与所述结晶腔连通设置,以使所述容纳腔接收所述第一结晶件、且通过所述第一排出部211将所述第一结晶件排出所述容纳腔外,所有的所述分离腔均与所述结晶腔连通设置,以使所有的所述分离腔接收所述凝华气体,且使所述凝华气体在所述分离腔内凝华结晶出第二结晶件,并通过所述分离部221将所述第二结晶件排出所述分离腔外。
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