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申请/专利权人:能量奇点能源科技(上海)有限公司
摘要:本实用新型公开了一种两块靶板之间的夹角为钝角的靶板组件、偏滤器,所述靶板组件包括:形成封闭式连接的第一靶板和第二靶板,第一靶板和第二靶板之间的夹角为钝角,第一靶板和第二靶板的围合区域内设置等离子体;第一靶板和第二靶板具有相同的多层结构,沿远离等离子体的方向所述多层结构依次包括作为表层的钨层、过渡层、导热层、作为结构层的不锈钢层,且多层结构的相邻层之间均通过焊接固定。所述两块靶板之间的夹角为钝角的靶板组件开放性佳,可避免偏滤器打击点附近的等离子体过早进入脱靶状态,导致中性气体富集和扩散,进而污染堆芯的等离子体。
主权项:1.两块靶板之间的夹角为钝角的靶板组件,其特征在于,包括:形成封闭式连接的第一靶板和第二靶板,所述第一靶板和所述第二靶板的围合区域内设置等离子体,其中,所述第一靶板和所述第二靶板之间的夹角为钝角;所述第一靶板、所述第二靶板具有相同的多层结构,沿远离等离子体的方向所述多层结构依次包括:作为表层的钨层、过渡层、导热层、作为结构层的不锈钢层,且所述多层结构的相邻层之间均通过焊接固定。
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权利要求:
百度查询: 能量奇点能源科技(上海)有限公司 两块靶板之间的夹角为钝角的靶板组件、偏滤器
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