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申请/专利权人：苏州市翌科斯拓机电科技有限公司
摘要：本实用新型涉及机械设备技术领域，公开了一种摆臂装置及晶圆清洗设备。摆臂装置包括支撑平台、摆臂机构和支撑机构，其中，摆臂机构安装于支撑平台，摆臂机构包括升降旋转臂和升降旋转轴，升降旋转臂和升降旋转轴转动连接，升降旋转轴为中空结构；支撑机构包括支撑外壳和支撑组件，支撑外壳套设于升降旋转轴的外侧，并安装于支撑平台，支撑组件包括至少三个支撑件，至少三个支撑件均匀设置于支撑外壳的周向并与升降旋转轴滚动连接；旋转升降机构安装于支撑平台并与摆臂机构相连接，用于带动摆臂机构进行升降和旋转。该摆臂装置避免了升降旋转轴发生倾斜，实现与整机其他机构的灵活配置、升降位置可任意调节并达到实时检测的目的。
主权项：1.摆臂装置，包括支撑平台1，其特征在于，还包括：摆臂机构2，安装于所述支撑平台1，包括升降旋转臂21和升降旋转轴22，所述升降旋转臂21和升降旋转轴22转动连接，所述升降旋转轴22为中空结构；支撑机构3，所述支撑机构3包括支撑外壳31和支撑组件32，所述支撑外壳31套设于所述升降旋转轴22的外侧，并安装于所述支撑平台1，所述支撑组件32包括至少三个支撑件321，至少三个所述支撑件321均匀设置于所述支撑外壳31的周向并与所述升降旋转轴22滚动连接；旋转升降机构，安装于所述支撑平台1并与所述摆臂机构2相连接，用于带动所述摆臂机构2进行升降和旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州市翌科斯拓机电科技有限公司 摆臂装置及晶圆清洗设备
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