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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明提供的一种分子泵检验装置以及检验方法，属于维修领域技术领域，一种分子泵检验装置，包括：检测终端、检测装置和测试结构；其中检测装置具有若干个，每个检测装置上均检测一个分子泵，并且每个检测装置通过旋转结构带动分子泵转动，从而实现分子泵在不同状态下的改变，在本方案中，将分子泵固定在旋转结构上，分子泵通过一次固定即可实现分子泵多种状态的切换，增加检测效率，并且通过增加检测装置的数量，进一步提高检测的效率，同时还将分子泵与检测终端连接，通过检测终端时刻检测分子泵的参数，具有一键启动和操作简单的优点。
主权项：1.一种分子泵检验装置，其特征在于，包括：检测终端1，适于与分子泵4电连接；所述检测终端1适于时刻检测分子泵4工作时的参数；检测装置2，具有若干个；所述检测装置2上设置有适于容纳分子泵4的安装位；所述检测装置2适于驱动所述分子泵4转动；所述检测装置2包括检测主体21和旋转结构22；所述旋转结构22设置在所述分子泵4与所述检测主体21之间；所述旋转结构22带动所述分子泵4转动；所述分子泵4转动过程中至少具有两种状态；当所述分子泵4处于不同状态时，所述分子泵4与竖直线的夹角不同；测试结构3，与所述分子泵4连接；所述测试结构3适于对所述分子泵4内部进行抽真空作业；所述测试结构3随所述分子泵4转动同步转动。
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权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵检验装置以及检验方法
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