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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第五十四研究所
摘要：本发明公开了基于MEMS开关的太赫兹可重构频率选择表面，属于太赫兹无线通信设备领域，主要应用于1～2THz的天线罩。该频率选择表面由MEMS可重构电磁结构单元周期排列而成，其单元为三维结构，从下到上依次为石英衬底、金属双开口谐振环、氮化硅介质层与MEMS金属薄膜；MEMS金属薄膜等效为悬臂梁结构，其锚区与金属双开口谐振环相连接，梁与其下方的氮化硅介质层、矩形贴片形成平行板电容，通过加载偏置电压实现MEMS开关的上下态切换，进而实现频率选择。采用上述基于MEMS薄膜开关的频率选择表面，结构简单、馈电方便，可以在宽频带范围内实现透射频段和反射频段的可重构，主要应用于雷达、太赫兹通信与电子对抗等设备的天线罩中。
主权项：1.基于MEMS开关的太赫兹可重构频率选择表面，包括石英衬底和MEMS电磁结构单元，MEMS电磁结构单元在石英衬底的上表面周期性阵列；其特征在于，所述MEMS电磁结构单元包括双开口金属谐振环和MEMS悬臂梁；所述双开口金属谐振环位于石英衬底的上表面；所述MEMS悬臂梁一端通过位于双开口金属谐振环上的金属锚区与双开口金属谐振环连接，MEMS悬臂梁的另一端悬空设置于双开口金属谐振环的延伸臂末端上方，延伸臂末端的上表面设置有氮化硅介质层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第五十四研究所 基于MEMS开关的太赫兹可重构频率选择表面
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