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申请/专利权人：江苏汇显显示技术有限公司
摘要：本申请提供一种蒸镀源组件、蒸镀装置及蒸镀方法，该蒸镀源组件包括：承载板，承载板包括第一表面；多个蒸镀单元，每个蒸镀单元包括多个间隔设置的固定点源，固定点源位于第一表面上，每个蒸镀单元的多个固定点源的连线经过第一表面的中心，至少两个蒸镀单元用于容纳不同的蒸镀材料；旋转点源，旋转点源的中心与第一表面的中心重合，旋转点源包括多个分位，至少两个分位用于容纳不同的蒸镀材料，分位容纳的蒸镀材料与蒸镀单元容纳的蒸镀材料相同。本申请的技术方案可以提高蒸镀材料的蒸镀均匀性。
主权项：1.一种蒸镀源组件，其特征在于，包括：承载板，所述承载板包括第一表面；多个蒸镀单元，每个所述蒸镀单元包括多个间隔设置的固定点源，所述固定点源位于所述第一表面上，每个所述蒸镀单元的多个所述固定点源的连线经过所述第一表面的中心，至少两个所述蒸镀单元用于容纳不同的蒸镀材料；旋转点源，所述旋转点源的中心与所述第一表面的中心重合，所述旋转点源包括多个分位，至少两个所述分位用于容纳不同的蒸镀材料，所述分位容纳的所述蒸镀材料与所述蒸镀单元容纳的所述蒸镀材料相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏汇显显示技术有限公司 蒸镀源组件、蒸镀装置及蒸镀方法
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