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申请/专利权人：三井化学艾喜缇玛蒂莉亚株式会社
摘要：本发明的课题在于提供一种相比于熟知方法，可更简单且稳定地从由晶圆及粘接合材所构成的层叠体剥离粘接合材的晶圆的制造方法。另外，本发明的课题在于提供一种比熟知可更简单且稳定地剥离的粘接合材及剥离胶带。本发明的课题是通过一种晶圆的制造方法来解决，而该晶圆的制造方法包含使用剥离胶带而从由晶圆及粘接合材所构成的层叠体A剥离前述粘接合材的步骤，在前述步骤中所使用的前述剥离胶带在与前述粘接合材相接的粘接合层含有硅酮系粘接合剂成分，在前述步骤中所使用的粘接合材具有满足剥离强度比P1P2为6以上、及P2为0.5N25mm以上的P1及P2；其中，前述粘接合材具有与前述剥离胶带相接的面A、及与晶圆相接的面B，P1是设为使前述剥离胶带相对于前述粘接合材保持90°而测定时的面A的剥离强度，P2是设为使前述粘接合材相对于聚酰亚胺涂敷晶圆保持90°而测定时的面B的剥离强度。
主权项：1.一种晶圆的制造方法，其包含：使用剥离胶带，而从由晶圆及粘接合材所构成的层叠体A剥离所述粘接合材的步骤；在所述步骤中所使用的所述剥离胶带在与所述粘接合材相接的粘接合层含有硅酮系粘接合剂成分，在所述步骤中所使用的所述粘接合材具有满足剥离强度比P1P2为6以上、及P2为0.5N25mm以上的P1及P2；其中，所述粘接合材具有与所述剥离胶带相接的面A、及与晶圆相接的面B，P1是设为使所述剥离胶带相对于所述粘接合材保持90°而测定时的面A的剥离强度，P2是设为使所述粘接合材相对于聚酰亚胺涂敷晶圆保持90°而测定时的面B的剥离强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三井化学艾喜缇玛蒂莉亚株式会社 使用剥离胶带及粘接合材的晶圆的制造方法，以及使用于该方法的剥离胶带及粘接合材
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