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申请/专利权人：株式会社日立高新技术
摘要：一种检查装置，其对表面由透明膜和不透明物质形成的试样进行检查，该检查装置具有：第一光学单元，其将光源射出的照明光照射到试样，对被所述试样反射的第一反射光进行会聚；第二光学单元，其将所述照明光照射到反射镜，对被所述反射镜反射的第二反射光进行会聚；干涉光学单元，其使所述第一反射光和所述第二反射光干涉而得到干涉光；多个干涉光传感器，其检测所述干涉光的反射光强度；以及信号处理装置，其对所述干涉光传感器的检测光量进行处理，所述信号处理装置根据所述干涉光传感器的检测光量以及所述透明膜和所述不透明物质的折射率，确定所述试样的任意坐标是所述透明膜和所述不透明物质中的哪一个，通过运算来测量所述坐标处的所述试样的表面高度或膜厚。
主权项：1.一种检查装置，其对表面由光透过的透明膜和不透明物质形成的试样进行检查，其特征在于，所述检查装置具备：光源；第一光学单元，其向试样照射所述光源射出的照明光，对被所述试样反射的第一反射光进行会聚；第二光学单元，其向反射镜照射所述照明光，对被所述反射镜反射的第二反射光进行会聚；干涉光学单元，其使所述第一反射光和所述第二反射光干涉而得到干涉光；多个干涉光传感器，其检测所述干涉光的预定的偏振成分的反射光强度；以及信号处理装置，其对所述干涉光传感器的检测光量进行处理，所述信号处理装置根据所述干涉光传感器的检测光量以及所述透明膜和所述不透明物质的折射率，确定所述试样的任意坐标是所述透明膜和所述不透明物质中的哪一个，通过运算来测量所述试样在所述坐标处的表面高度或膜厚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社日立高新技术 检查装置
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