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含硫的硅氧烷、包含所述含硫的硅氧烷的含硅膜形成用的组合物、含硫的硅氧烷的制造方法、含硅膜以及含硅膜的制造方法 

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申请/专利权人:住友精化株式会社

摘要:本发明提供一种含硫的硅氧烷,其由下式1表示。[式1中,A1~10在各自出现时分别独立地为氢原子、有机基团、卤素、OSiRaRbRc所示的硅烷氧基或NRdRe所示的氨基,其中,A1与A3任选地一体为氧原子而形成环状硅氧烷,A4与A6任选地一体为氧原子而形成环状硅氧烷;Ra~e在各自出现时分别独立地为氢原子或有机基团,Rd与Re任选地相互键合而形成环;p和q分别独立地为1~5的整数。]

主权项:1.一种含硫的硅氧烷,其由下式1表示, 式1中,A1~10在各自出现时分别独立地为氢原子、有机基团、卤素、OSiRaRbRc所示的硅烷氧基或NRdRe所示的氨基,其中,A1与A3任选地一体为氧原子而形成环状硅氧烷,A4与A6任选地一体为氧原子而形成环状硅氧烷;Ra~e在各自出现时分别独立地为氢原子或有机基团,Rd与Re任选地相互键合而形成环;p和q分别独立地为1~5的整数。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 住友精化株式会社 含硫的硅氧烷、包含所述含硫的硅氧烷的含硅膜形成用的组合物、含硫的硅氧烷的制造方法、含硅膜以及含硅膜的制造方法

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