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申请/专利权人：株式会社德山
摘要：本发明的目的在于提高多晶硅棒整体的纯度。在多晶硅棒1中，外侧总浓度C1为100pptw以下，且外侧总浓度C1相对于内侧总浓度C2的比率为1.0以上且2.5以下。
主权项：1.一种多晶硅棒，其中，从与中心轴平行的表面沿径向直到深度4mm为止的部分中的铁、铬及镍的各浓度进行合计所得的外侧总浓度为100pptw以下，若将对于从所述表面沿径向离开超过4mm的部分中的所述铁、所述铬及所述镍的各浓度进行合计所得的总浓度设为内侧总浓度，则所述外侧总浓度相对于所述内侧总浓度的比率为1.0以上且2.5以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社德山 多晶硅棒、多晶硅棒的制造方法以及多晶硅的热处理方法
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