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申请/专利权人：新疆大全新能源股份有限公司
摘要：本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多级换热器上具有进料口；淋洗塔与多级换热器的出料口连通；自身换热器的物料入口与淋洗塔的气相出口连通；多级冷却器与自身换热器的物料出口连通；氯硅烷分离罐与多级冷却器连通；氯硅烷分离罐的气相物料出口与自身换热器的介质入口连通；氯硅烷分离罐的液相物料出口与精馏系统中解析塔的物料换热器连通；解析塔与物料换热器的物料出口连通；物料换热器的介质入口与解析塔的出料口连通；物料换热器的介质出口与淋洗塔连通。采用本实用新型能够避免轻组分、氯化氢等杂质冷凝后再次气化，气化后再次冷凝，来回循环，避免浪费冷量和能耗浪费。
主权项：1.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，其特征在于，包括:多级换热器、淋洗塔、自身换热器、多级冷却器和氯硅烷分离罐；所述多级换热器上具有进料口，用于含有硅粉的气液相物料的进入；所述淋洗塔与所述多级换热器的出料口连通，用于将气相中含有的硅粉进行淋洗；所述自身换热器的物料入口与所述淋洗塔的气相出口连通，用于对所述淋洗塔输出的气相物料进行降温；所述多级冷却器与所述自身换热器的物料出口连通，用于冷却所述自身换热器输出的物料；所述氯硅烷分离罐与所述多级冷却器连通，用于接收所述多级冷却器输出的气液相物料，并对气液相物料进行分离；所述氯硅烷分离罐的气相物料出口与所述自身换热器的介质入口连通，用于向所述自身换热器通入低温介质；所述自身换热器的介质出口通向另一系统；所述氯硅烷分离罐的液相物料出口与精馏系统中解析塔的物料换热器连通；所述解析塔与所述物料换热器的物料出口连通，用于被所述物料换热器加热后的物料进入所述解析塔；所述物料换热器的介质入口与所述解析塔的出料口连通；所述物料换热器的介质出口与所述淋洗塔的淋洗液入口连通。
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