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申请/专利权人：上海高笙集成电路设备有限公司

摘要：本发明提供了一种集成式尾气处理系统，该系统包括干泵处理模块、尾气处理模块以及连接干泵处理模块和尾气处理模块的连接管道系统；尾气从干泵处理模块经过连接管道系统被输送至尾气处理模块；干泵处理模块包括水平排布的第一干泵处理系统和第二干泵处理系统；尾气处理模块包括设置在第一干泵处理系统一侧的第一尾气处理设备和设置在第二干泵处理系统一侧的第二尾气处理设备，如此，该系统的集成度高，占用空间小，连接管道系统的管道长度大大缩小，降低了尾气泄露的风险。

主权项：1.一种集成式尾气处理系统，其特征在于，包括干泵处理模块、尾气处理模块以及连接干泵处理模块和尾气处理模块的连接管道系统；尾气从干泵处理模块经过连接管道系统被输送至尾气处理模块；所述干泵处理模块包括水平排布的第一干泵处理系统和第二干泵处理系统；所述尾气处理模块包括设置在第一干泵处理系统一侧的第一尾气处理设备和设置在第二干泵处理系统一侧的第二尾气处理设备；所述第一干泵处理系统包括上下排布设置的第一干泵装置和第二干泵装置；所述第二干泵处理系统包括上下排布设置的第三干泵装置和第四干泵装置；所述第一干泵装置设置在第一容室内，所述第二干泵装置设置在第二容室内，所述第三干泵装置设置在第三容室内，所述第四干泵装置设置在第四容室内；所述第一容室和所述第二容室相互连通；所述第三容室和所述第四容室相互连通；第一容室、第二容室、第三容室和第四容室内均设置有气体泄露检测装置；所述气体泄露检测装置包括声学成像检测装置和伸缩旋转支架组件，所述伸缩旋转支架组件设置在第一容室或第二容室或第三容室或第四容室的侧壁上，所述声学成像检测装置设置在伸缩旋转支架组件上；所述伸缩旋转支架组件包括固定支架、设置在侧壁上的第一驱动单元，所述第一驱动单元的输出端传动连接有主动齿轮；所述第一驱动单元的下方还设置有电动推杆；所述电动推杆上设置有被动齿轮，所述被动齿轮与主动齿轮啮合传动；所述电动推杆的一端通过轴承转动设置在所述侧壁上，另一端上设置有固定声学成像检测装置的固定支架；所述固定支架包括套设在电动推杆上的空心管状部，所述空心管状部上均匀排布设置有数个支杆，所述支杆的端部设置有声学成像检测装置；所述固定支架包括第一支杆、第二支杆和第三支杆，所述第一支杆上设置有第一声学成像检测装置，所述第二支杆上设置有第二声学成像检测装置，所述第三支杆上设置有第三声学成像检测装置，所述第一声学成像检测装置、第二声学成像检测装置和第三声学成像检测装置的检测方向之间分别成120°夹角设置。

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