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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种电子级多晶硅料暂存系统，包括若干存放结构和高纯水系统；存放结构的箱盖置于硅料箱体顶部，硅料箱体两侧分别连通有进水管和溢流管，在硅料箱体的侧边连通有排水管，在进水管、溢流管和排水管上均设有硅料箱管道电控阀；高纯水系统包括进水主管道，进水主管道上连通设有若干进水支管道，回水主管道上连通设有若干回水支管道，进水支管道和回水支管道上分别设有支管电控阀，一对进水支管道和回水支管道之间设置一个存放结构，进水支管道通过快速接头与进水管连接，回水支管道分别通过快速接头与溢流管和排水管连通。优点：防止硅棒或硅料在转运、储存过程中被环境污染。使硅棒或硅料避免造成表面杂质含量升高。
主权项：1.一种电子级多晶硅料暂存系统，其特征在于，包括若干存放结构和高纯水系统；所述存放结构包括硅料箱体、箱盖，所述箱盖置于所述硅料箱体顶部，所述硅料箱体的上半部两侧分别连通设有进水管和溢流管，在所述硅料箱体的下半部的侧边连通设有排水管，在所述进水管、所述溢流管和所述排水管上均设有硅料箱管道电控阀；所述高纯水系统包括进水主管道、回水主管道、进水支管道、回水支管道，所述进水主管道上连通设有若干所述进水支管道，所述回水主管道上连通设有若干所述回水支管道，所述进水支管道和所述回水支管道上分别设有支管电控阀，一对所述进水支管道和所述回水支管道之间设置一个所述存放结构，所述进水支管道通过快速接头与所述进水管连接，所述回水支管道分别通过快速接头与所述溢流管和所述排水管连通。
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权利要求：
百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 一种电子级多晶硅料暂存系统
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