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申请/专利权人：中国海洋大学;厦门大学;青岛海研电子有限公司

摘要：本发明公开一种基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列及其制备方法，属于柔性可穿戴电子及微纳传感器件领域。该叉指传感器阵列的制备方法包括以下步骤：S1、制备叉指电极层；S2、涂覆第一绝缘层；S3、涂覆电极层导线；S4、涂覆第二绝缘层；S5、涂覆间隔层；S6、制备敏感层；S7、传感器阵列封装；将S5制备的电极层‑第一绝缘层‑电极层导线‑第二绝缘层‑间隔层薄膜与S6制备的敏感层对准粘结，进行封装，得到基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列。本发明能够尽可能减少叉指传感器阵列输出端口数量，并保持优异的柔性，而且整体力学性能得到提升，具有高灵敏度、高稳定性。

主权项：1.一种基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤：S1、制备叉指电极层；选取柔性基底，在柔性基底上进行激光刻蚀，得到带有底纹结构的柔性基底；将导电油墨丝网印刷于带有底纹结构的柔性基底上，得到叉指电极层；S2、涂覆第一绝缘层；将绝缘油墨丝网印刷于叉指电极层上引线交叠处，形成第一绝缘层，得到电极层-第一绝缘层薄膜；S3、涂覆电极层导线；将导电油墨丝网印刷于S2得到的电极层-第一绝缘层薄膜上，形成电极互联的电极层导线，得到电极层-第一绝缘层-电极层导线薄膜；S4、涂覆第二绝缘层；将绝缘油墨丝网印刷于S3得到的电极层-第一绝缘层-电极层导线薄膜上，形成防止串扰的第二绝缘层，得到电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层薄膜；S5、涂覆间隔层；将间隔层油墨丝网印刷于S4得到的电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层薄膜上，形成间隔层，得到电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层-间隔层薄膜；S6、制备敏感层；选取柔性基底，将敏感层油墨丝网印刷于柔性基底上，然后进行激光刻蚀，得到敏感层；S7、传感器阵列封装；将S5制备的电极层-第一绝缘层-电极层导线-第二绝缘层-间隔层薄膜与S6制备的敏感层对准粘结，进行封装，得到基于丝网印刷的最小端口叉指传感器阵列。

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