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申请/专利权人：安徽亚格盛电子新材料股份有限公司;全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
摘要：本发明涉及MO源供应技术领域，具体涉及一种MO源持续供应装置，包括MO源储罐以及MO源钢瓶，所述MO源储罐所处的温度为第一温度，所述MO源钢瓶放置在水浴槽内，且MO源钢瓶所处的温度为第二温度，且第一温度低于或等于第二温度。本发明通过设置大罐的温度低于或等于小罐的温度，使得在向MOCVD设备提供MO源时，经大罐后载气携带的MO源量小于经小罐后载气携带的MO源量，这样在保证优先消耗大罐的同时，小罐作为补偿源也在同步消耗MO源，保证了两个储罐内MO源液位同步下降，避免储罐液位上升带来可能的液态MO源直接通过管道压出并进入MOCVD系统内，会造成设备终端安全事故发生。
主权项：1.一种MO源持续供应装置，包括MO源储罐（1）以及MO源钢瓶（2），且MO源钢瓶（2）的容积小于MO源储罐（1）的容积，其特征在于，所述MO源储罐（1）所处的温度为第一温度，所述MO源钢瓶（2）放置在水浴槽（3）内，且MO源钢瓶（2）所处的温度为第二温度，且第一温度低于第二温度；所述MO源储罐（1）上设置有进气管一（4）和出气管一（5），所述进气管一（4）上连接有载气管（6），所述MO源钢瓶（2）上设置有进气管二（7）和出气管二（8），且出气管二（8）的端部连接有输送管一（11），所述出气管一（5）和进气管二（7）之间连接有连通管（9），所述连通管（9）上设置有三通阀一（10），其中三通阀一（10）上的两个连接端连接在连通管（9）上，所述三通阀一（10）上的第三个连接端连接有输送管二（12），所述输送管一（11）和输送管二（12）能够将载气和MO源气体输送到MOCVD气体管道系统中。
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权利要求：
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