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申请/专利权人：浙江新唐实业有限公司
摘要：本申请公开了一种氮化铬PVD镀层的制备方法及应用该镀层的金属工件，该制备方法包括如下步骤：抽真空预热：将金属工件放入工作炉腔，抽真空并对金属工件进行预热；刻蚀：在加热和低压氩气氛围中，通过偏压电源向金属工件施加负偏压，通过离子电源向金属工件施加电流；溅射沉积：在低压氩气氛围中，通过偏压电源向金属工件施加负偏压，通过离子电源向金属工件施加电流；通过溅射电源向磁控靶材施加电流，使靶材物质溅射沉积在金属工件上；冷却：冷却金属工件并释放真空至大气压。本申请能够在保障氮化铬镀层与基材结合力、硬度与不粘性的前提下，实现氮化铬在基材表面的沉积。
主权项：1.一种氮化铬PVD镀层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：抽真空预热：将金属工件放入工作炉腔，抽真空并对金属工件进行预热；刻蚀：在加热和低压氩气氛围中，通过偏压电源向金属工件施加负偏压，通过离子电源向金属工件施加电流；溅射沉积：在低压氩气氛围中，通过偏压电源向金属工件施加负偏压，通过离子电源向金属工件施加电流；通过溅射电源向磁控靶材施加电流，使靶材物质溅射沉积在金属工件上；冷却：冷却金属工件并释放真空至大气压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江新唐实业有限公司 一种氮化铬PVD镀层的制备方法及应用该镀层的金属工件
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