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申请/专利权人:爱思开海力士有限公司
摘要:本技术包括存储器设备和制造该存储器设备的方法。存储器设备包括:源极接触部,穿过堆叠在源极线上的堆叠结构;第一支撑件,在源极接触部之间穿过堆叠结构;第二支撑件,在第一支撑件与源极接触部之间穿过堆叠结构;以及辅助图案,在第一支撑件之间穿过堆叠结构的一部分。源极接触部以及第一支撑件和第二支撑件接触源极线,并且辅助图案与源极线间隔开。
主权项:1.一种存储器设备,包括:源极接触部,穿过堆叠在源极线上的堆叠结构;第一支撑件,在所述源极接触部之间穿过所述堆叠结构;第二支撑件,在所述第一支撑件与所述源极接触部之间穿过所述堆叠结构;以及辅助图案,在所述第一支撑件之间穿过所述堆叠结构的一部分,其中所述源极接触部以及所述第一支撑件和所述第二支撑件接触所述源极线,并且所述辅助图案与所述源极线间隔开。
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