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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波杭州湾新材料研究院
摘要：本发明公开了一种耐辐照低摩擦的复合薄膜及其制备方法与应用。所述复合薄膜包括依次形成于基底表面的钛过渡层、钛锌二硫化钼碳化钨梯度过渡层及锌二硫化钼碳化钨层；其中，在沿逐渐远离所述基底的方向上，所述钛锌二硫化钼碳化钨梯度过渡层中钛的含量逐渐减小，锌的含量逐渐增大，二硫化钼的含量逐渐增大，碳化钨的含量逐渐增大。本发明的复合薄膜具有优异的耐辐照性能和摩擦学性能，在6.12×1021atoms·cm‑2的原子氧辐照剂量下薄膜的真空摩擦系数远低于0.01，可以满足航天器在近地轨道原子氧环境的服役要求，为二硫化钼基薄膜的制备工艺提供科学依据和理论支撑。
主权项：1.一种耐辐照低摩擦的复合薄膜，其特征在于，包括：依次形成于基底表面的钛过渡层、钛锌二硫化钼碳化钨梯度过渡层及锌二硫化钼碳化钨层；其中，在沿逐渐远离所述基底的方向上，所述钛锌二硫化钼碳化钨梯度过渡层中钛的含量逐渐减小，锌的含量逐渐增大，二硫化钼的含量逐渐增大，碳化钨的含量逐渐增大；同时在沿逐渐远离所述基底的方向上，所述锌二硫化钼碳化钨层中锌、二硫化钼、碳化钨是均匀分布的。
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百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波杭州湾新材料研究院 一种耐辐照低摩擦的复合薄膜及其制备方法与应用
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