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申请/专利权人:六号元素技术有限公司
摘要:单晶CVD金刚石材料,包含至少5ppm的总氮浓度和至少0.7的中性单一替位氮Ns0与总单一替位氮Ns之比。尽管氮的浓度相对高,但观察到这样的金刚石具有相对少量的棕色着色。还公开了制造单晶金刚石的方法,该方法包括在工艺气体中生长CVD金刚石,所述工艺气体除含碳气体和氢之外还包含60至200ppm氮,其中含碳气体中的碳原子与氢气中的氢原子之比为0.5至1.5%。
主权项:1.单晶化学气相沉积CVD金刚石材料,包含:总氮浓度为至少5ppm;和中性单一置换氮Ns0与总单一置换氮Ns比为至少0.7。
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百度查询: 六号元素技术有限公司 单晶合成金刚石材料
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