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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要：本发明提供了一种金刚石抛光夹具及抛光方法，属于金刚石处理技术领域，包括主体底座以及可移动式夹具托，主体底座的上表面设置有胶槽，主体底座的下表面设置有轴杆，轴杆用于与抛光机头连接；可移动式夹具托设置于主体底座的四周，以夹紧胶粘于主体底座上表面的金刚石片，并可通过移动以夹持不同尺寸的金刚石片。本发明提供的金刚石抛光夹具及抛光方法，利用高温胶粘以及夹具托夹紧的方式，将金刚石片固定在主体底座上，提升金刚石片夹紧的稳定性，有效降低了抛光裂片风险；同时通过该抛光夹具的使用，能够优化金刚石片表面粗糙度和整体厚度均匀情况，有效抑制了抛光过程引入的应力损伤，从而获得高质量的单晶金刚石加工产品。
主权项：1.一种金刚石抛光夹具，其特征在于，包括：主体底座1，所述主体底座1的上表面设置有胶槽11，所述主体底座1的下表面设置有轴杆2；以及可移动式夹具托，设置于所述主体底座1的四周，以夹紧胶粘于所述主体底座1上表面的金刚石片6，并可通过移动以夹持不同尺寸的金刚石片6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 金刚石抛光夹具及抛光方法
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