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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本申请提供一种抛光装置，抛光装置包括：支撑件、抛光件、终点检测装置以及透明盖板；抛光件设置于支撑件上，抛光件上开设有检测窗口；终点检测组件设置于抛光件内，用于检测抛光状况，其包括检测光出射件和检测光接收件；透明盖板设置于检测窗口内，透明盖板包括第一面和第二面，第一面上形成有第一入射面和第二出射面，第二面上形成有第一出射面和第二入射面，第一出射面平行于第一入射面，第二出射面平行于第二入射面，第一入射面与竖直方向之间具有第一倾斜角度，第一倾斜角度被配置使检测光出射件发出的检测光垂直入射透明盖板，第二入射与竖直方向之间具有第二倾斜角度，第二倾斜角度被配置使由被抛光件反射的检测光垂直入射透明盖板。
主权项：1.一种抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括：支撑件；抛光件，所述抛光件设置于所述支撑件上，所述抛光件内设置有容置空间，所述抛光件上还开设有与所述容置空间连通的检测窗口；终点检测组件，所述终点检测组件设置于所述容置空间内，所述终点检测组件用于检测抛光状况，所述终点检测组件包括检测光出射件和检测光接收件；透明盖板，所述透明盖板设置于所述检测窗口内，沿所述透明盖板的厚度方向，所述透明盖板包括第一面和第二面，所述第一面上形成有第一入射面和第二出射面，所述第二面上形成有第一出射面和第二入射面，所述第一出射面平行于所述第一入射面，所述第二出射面平行于所述第二入射面，所述检测光出射件出射的检测光依次通过第一入射面和第一出射面后出射至被抛光件上，被所述被抛光件反射的所述检测光依次经过第二入射面和第二出射面后被所述检测光接收件接收，所述第一入射面与竖直方向之间具有第一倾斜角度，所述第一倾斜角度被配置使所述检测光出射件发出的检测光垂直入射所述透明盖板，所述第二入射面与竖直方向之间具有第二倾斜角度，所述第二倾斜角度被配置使被所述被抛光件反射的检测光垂直入射所述透明盖板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 一种抛光装置
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