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申请/专利权人：华海清科股份有限公司
摘要：本申请提供一种用于晶圆抛光的支撑组件和抛光设备，支撑组件包括框架、动力机构、第一防护件和第二防护件，动力机构与所述框架沿横向滑动连接且至少部分位于所述框架的下方；第一防护件具有第一避让孔，以套设在所述动力机构外，所述第一防护件连接于所述框架下方；第二防护件具有第二避让孔，以套设在所述动力机构外，且所述第二防护件与所述动力机构密封连接，所述第二防护件位于所述第一防护件的下方；所述第一防护件和所述第二防护件之间设置有间隔分布的第一防护结构和第二防护结构，所述第一防护结构和第二防护结构用于阻挡液体进入所述动力机构的内部。
主权项：1.一种用于晶圆抛光的支撑组件，其特征在于，包括：框架10，动力机构50，安装在所述框架10上，并能够相对于所述框架10沿横向滑动，所述动力机构50的至少部分结构位于所述框架10的下方；第一防护件20，具有第一避让孔2A，以套设在所述动力机构50外，所述第一防护件20与所述框架10连接，且位于所述框架10的下方；第二防护件30，具有第二避让孔3A，以套设在所述动力机构50外，且所述第二防护件30与所述动力机构50密封连接，以跟随所述动力机构50同步运动，所述第二防护件30位于所述第一防护件20的下方；其中，所述第一防护件20和所述第二防护件30之间设置有第一防护结构和第二防护结构，所述第一防护结构和所述第二防护结构间隔分布，所述第一防护结构和第二防护结构允许所述第二防护件30相对于所述第一防护件20沿横向滑动，以阻挡液体进入所述动力机构50的内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华海清科股份有限公司 用于晶圆抛光的支撑组件和抛光设备
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